The course is taught in English.
Questo insegnamento, collocato al secondo semestre del primo anno della Laurea Magistrale in Nanotechnologies for ICTs (percorso internazionale), intende fornire informazioni specialistiche teoriche e sperimentali su tecnologie e metodi di progetto per la realizzazione di microstrutture, microsistemi e MEMS (micro-electro-mechanical systems).
Il corso è suddiviso in tre parti. Nella prima agli studenti vengono forniti le competenze sulla fabbricazione, sul funzionamento e sul packaging di microsistemi . Nella seconda parte vengono introdotti gli strumenti CAD per la simulazione di microstrutture e relativi microsistemi. Nella terza parte sono previste attività di laboratorio.

- Conoscenza delle tecnologie per la realizzazione di microsistemi.
- Conoscenza dei metodi di simulazione e design di microsistemi.
- Capacità di applicare le conoscenze acquisite per la realizzazione di microsistemi.
- Capacità di progettare i principali componenti di microsistemi e MEMS.

- Fisica di base (meccanica, termodinamica, elettromagnetismo, ottica ondulatoria, elementi di struttura della materia)
- Elementi di meccanica quantistica e meccanica statistica.
- Elementi di elettronica e microelettronica.
- Elementi di dispositivi elettronici.
- Elementi di fisica della materia e di micro- e nanotecnologie
- Elementi di tecnologie MEMS e NEMS

Realizzazione di microsistemi (2 cr.):
la tecnologie dei microsistemi a base slicio
il processo LIGA
procssi alternativi di fabbricazione
packaging e tecniche di interconnessione

Progettazzione di microsistemi (2 cr.)
Simulazione fisica multi-dominio per il progetto di microsistemi
Simulazioni 'behavioral' e FEM
Esempi di CAD e tools commerciali
Simulazioni guidate su esempi di miro strutture

Laboratori numerici su argomenti del corso.
Laboratorio di micro e nano scienze (4 cr.)

Le esercitazioni in aula riguardano la risoluzione di semplici problemi, con applicazioni di quanto trattato nelle lezioni immediatamente precedenti. Può essere richiesto in taluni casi l'uso di calcolatrici scientifiche (personali, di ciascuno studente).

Le esercitazioni sperimentali di laboratorio costituiscono una parte integrante dell'insegnamento e comprendono attività su argomenti del corso.
Tutte le esperienze vengono effettuate in laboratorio dagli studenti, a piccoli gruppi e sotto la supervisione di personale esperto, sempre utilizzando strumentazione non virtuale. Gli studenti devono redigere a gruppi una relazione dettagliata su ciascuna delle esperienze cui hanno preso parte.

Materiale messo a disposizione dai Docenti

L'esame finale comprende uno scritto per ogni parte del corso. Lo scritto comprende a) problemi simbolici o numerici relativi agli argomenti principali del corso; b) quesiti a risposta multipla sui medesimi argomenti; c) domande aperte di teoria.